XPS（X射线光电子能谱分析）分析方法包括：
1、元素的定性分析，可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除H、He以外的所有元素。
2、元素的定量分析，根据能谱图中光电子谱线强度（光电子峰的面积）反应原子的含量或相对浓度。
3、固体表面分析，包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等。
XPS的原理是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。以光电子的动能/束缚能为横坐标，相对强度（脉冲/s）为纵坐标可做出光电子能谱图。从而获得试样有关信息。
X射线光电子能谱分析的依据：
XPS主要依据X射线的穿透作用、差别吸收、感光作用和荧光作用。由于X射线穿过人体时，受到不同程度的吸收，如骨骼吸收的X射线量比肌肉吸收的量要多，那么通过人体后的X射线量就不一样。
这样便携带了人体各部密度分布的信息，在荧光屏上或摄影胶片上引起的荧光作用或感光作用的强弱就有较大差别，因而在荧光屏上或摄影胶片上(经过显影、定影)将显示出不同密度的阴影。
根据阴影浓淡的对比，结合临床表现、化验结果和病理诊断，即可判断人体某一部分是否正常。于是，X射线诊断技术便成了世界上最早应用的非刨伤性的内脏检查技术。
参考资料来源：百度百科-xps（X射线光电子能谱分析(XPS)）
xps分峰拟合原则如下。
1、将所拷贝数据转换成TXT格式：把所需拟合元素 的数据引入Origin后,将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式,左边 为结合能,右边为峰），并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。
2、打开XPS Peak，引入数据：点Data----Import（ASCII），引入所存数据,则出现相应的XPS谱图。
3、选择本底：点 Background,因软件问题，High BE和Low BE的位置最好不改，否则无法再回到Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际情况选择，一般选择Shirley类型。
4、加峰：点Addpeak出现小框在PeakType处选择s、p、d、f等峰类型（一般选s）在Position处选择希望的峰位需固定时则点fix前小方框同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。
各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系,如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距可固定为45,峰面积比可固定为4:3等。点Delete peak可去掉此峰。然后再点Add peak选星空个峰，如此重复。
5、拟合：选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点Optimise region进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可多次点Optimise region。
6、参数查看：拟合完成后，分别点另一个窗口中的Rigion Peaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不region满意，可改变这些峰的参数，然后再点Optimise。
7、点Save XPS存图，下回要打开时点Open XPS就可以打开这副图继续进行处理。
8、数据输出：点Data――Print with peak parameters可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。
点Data――Export to clipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文档（如Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。
点Data――Export （spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在Origin中作出拟合后的图。
xps分峰的意思。
在XPS手册上，对应于每种元素，都有一个峰位与该元素化学键结构的图表，根据这个图标，把你测得的数据进行处理，例如你做的氮化硅，但是里面有少量的氧化硅，那么你的Si2p峰位就既不是标准的氮化硅，也不是标准的氧化硅，这是需要你利用origin或者xpspeakfit等软件对所得的Si2p峰进行分峰。
也就是用2个或者3个或者更多的高斯峰来拟合所得的测试曲线，根据每一个高斯峰的面积，来去定Si元素中有多少与O结合形成Si-O键，有多少与N结合形成Si-N键。
根据公开信息查询得知：1、点击引用，点击上面的【引用】。
2、点击脚注，点击上面的【脚注】。
3、输入自定义标记，弹出窗口框，输入自定义标记。
4、点击插入，点击左下角的【插入】。
5、输入内容，输入下面的参考文献内容即可。
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